สร้างขึ้นระหว่างพุทธศตวรรษที่ ๑๗ – ๑๘ หรือประมาณ ๑,๐๐๐ ปีล่วงมาแล้ว พบในพื้นที่จังหวัดลำพูนและจังหวัดเชียงใหม่ ในปัจจุบัน ซึ่งเคยเป็นพื้นที่เดิมของแคว้นหริภุญไชย มีทั้งจารึกด้วยภาษามอญโบราณ ภาษาบาลี และจารึกด้วยภาษามอญกับภาษาบาลีร่วมกัน

         จารึกของอาณาจักรหริภุญไชย กำหนดอายุจากรูปอักษรมอญโบราณ ซึ่งมีลักษณะใกล้เคียงกับตัวอักษรที่ปรากฏบนศิลาจารึก “มรเจดีย์” (Mayazedi) ของพระเจ้าจันสิตถา (Kyanzittha) กษัตริย์แห่งอาณาจักรพุกาม (พม่า) ซึ่งจารึกไว้เมื่อ พ.ศ. ๑๖๒๘ และ ๑๖๓๐ อันได้รับอิทธิพลด้านตัวอักษรไปจากมอญ แต่ครั้งเมื่อพระเจ้าอนิรุทธ (อโนรธามังฉ่อ) ได้ทรงยกทัพไปตีเมืองสะเทิม (ถะทนหรือสุธรรมวดี) ซึ่งเป็นราชธานีของหัวเมืองมอญฝ่ายใต้สำเร็จ มีการกวาดต้อนผู้คน ช่างฝีมือ ตลอดจนภิกษุสงฆ์และคัมภีร์ทางพุทธศาสนาที่มีอยู่ในเมืองสะเทิมไปสู่พุกามทำให้วัฒนธรรมมอญแพร่หลายในพุกาม รวมไปถึงการใช้ตัวอักษรด้วย

         จากหลักฐานตำนาน “จามเทวีวงศ์” ซึ่งเป็นพงศาวดารของเมืองลำพูน ระบุไว้ว่าในช่วงต้นพุทธศตวรรษที่ ๑๖ เมืองหริภุญไชยได้เกิดเหตุการณ์โรคระบาดที่มีคนล้มตายเป็นจำนวนมาก จึงได้อพยพผู้คนจากเมืองหริภุญไชยไปพำนักที่เมืองสะเทิมเป็นเวลา ๖ ปี สันนิษฐานได้ว่าคนมอญหริภุญไชยจะถูกกวาดต้อนจากเมืองสะเทิมไปยังพุกามในคราวนี้ ทำให้อักษรมอญแบบหริภุญไชย มีความคล้ายคลึงกับอักษรมอญโบราณที่ปรากฏบนศิลาจารึก “มรเจดีย์” (Mayazedi) นั้นเอง

         ศาสตราจารย์ เรอชินาล์ด เลอเมย์ (Reginald Le May) อดีตรองกงสุลอังกฤษประจําเชียงใหม่ระหว่างปี ค.ศ.๑๘๘๕-๑๙๗๒ กล่าวว่า พม่ารับวัฒนธรรมการเขียนหนังสือไปจากมอญ เมื่อราว พ.ศ. ๑๖๐๖ ตรงกับช่วงสมัยที่อาณาจักรพุกามถูกปกครองโดยพระเจ้าอนิรุทธ (อโนรธามังฉ่อ) ระหว่าง พ.ศ.๑๕๘๗ – ๑๖๒๐ นั้นเอง

         หลักฐานข้อมูลจากศิลาจารึกแสดงให้เห็นว่า กลุ่มชนที่สร้างจารึกเหล่านี้นับถือพุทธศาสนาที่ใช้ภาษาบาลีเป็นหลักมาตั้งแต่ราวพุทธศตวรรษที่ ๑๗ เป็นกลุ่มชนที่มีอิสรภาพหรือเป็นเอกราช ด้วยเนื้อหาในจารึกบ่งบอกถึงพฤติการณ์ของกษัตริย์ที่ทรงดำเนินแบบอย่างทางพระพุทธศาสนาและเป็นชุมชนที่ใช้ภาษามอญเป็นสื่อกลางในการสื่อสาร
         หลังจากนั้นไม่ปรากฏหลักฐานอักษรมอญโบราณในศิลาจารึกช่วงระยะต่อมาอีกเลย สันนิษฐานว่ากลุ่มชนที่ใช้อักษรมอญและภาษามอญในพุทธศตวรรษที่ ๑๗ นี้ได้สูญหายไป และมีกลุ่มชนที่ใช้อักษรไทยและภาษาไทยแบบต่างๆ เกิดขึ้นมาตั้งแต่พุทธศตวรรษที่ ๒๐ หรือ พ.ศ.๑๙๑๓ จากหลักฐานศิลาจารึกวัดพระยืนปรากฏขึ้นแทน